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SVAC-FilmLab-B 箱式鍍膜設備
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SVAC-FilmLab-B 箱式鍍膜設備

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真空系統配置：分子泵、機械泵、插板閥。
最大樣品尺寸：6英寸。
外形尺寸：1400 x 900 x 2000mm。
可集成電子束、熱蒸發、磁控濺射等多個沉積模塊。
PLC/觸摸屏控制。
真空腔室尺寸：Φ400-500MM。

極限真空：小于5×10-5Pa。

保壓數據V2

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真空度數據：

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性能模塊：

1、磁控濺射模塊：

圖片2.png圖片1.png

圖片4.png圖片3.png

圖片5.png


2、電子束：

電子束蒸發均勻性

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注：在4寸/6寸范圍內取9個點，均勻性值=（Tmax-Tmin）/2(Tmax+Tmin)


蒸發曲線

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3、加熱樣品臺：

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4、熱蒸發

熱蒸發模塊性能測試曲線

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注1：Al采用AlN坩堝外纏繞鎢絲蒸發。

注2：Ni、Ti采用鉬棒纏繞Ni、Ti絲蒸發


18.png

注：在4寸/6寸范圍內取9個點，均勻性值=（Tmax-Tmin）/2(Tmax+Tmin)


5、有機物蒸發：

有機物束源爐性能測試曲線

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測試條件：Red Prime材料，密度1.0g/cm3


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